Fabrication of Electrooptical Waveguides by Means of Ion Implantation

Autor(en): Bremer, T.
Stichwörter: Fabrication; Optoelectronics; Ion implantation; Materials science; Ion; Optics; Waveguide
Erscheinungsdatum: 1989
Herausgeber: Springer Netherlands
Startseite: 379
Seitenende: 387
DOI: https://doi.org/10.1007/978-94-009-0983-0_25

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