Bearbeitung polykristalliner Chromschichten mit niederenergetischen Ionen unter streifendem Einfall
| Autor(en): | Holzwarth, Margit | Stichwörter: | Ionenstrahl; Polykristall; Streifender Einfall; Chrom; Ionenstrahlbearbeitung; Dünne Schicht | Erscheinungsdatum: | 1996 | Herausgeber: | Shaker | Startseite: | 118 S | Beschreibung: | Zugl.: Osnabrück, Univ., Diss., 1996 u.d.T.: Holzwarth, Margit: Bearbeitung polykristalliner Chromschichten mit niederenergetischen Ionenstrahlen unter streifendem Einfall |
ISBN: | 9783826518256 |
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