CHEMICAL-STRUCTURE OF ULTRATHIN THERMALLY GROWN OXIDES ON A SI(100)-WAFER USING CORE LEVEL PHOTOEMISSION

Autor(en): BRAUN, W
KUHLENBECK, H
Stichwörter: Chemistry; Chemistry, Physical; Physics; Physics, Condensed Matter
Erscheinungsdatum: 1987
Herausgeber: ELSEVIER SCIENCE BV
Enthalten in: SURFACE SCIENCE
Band: 180
Ausgabe: 1
Startseite: 279
Seitenende: 288
ISSN: 00396028
DOI: 10.1016/0039-6028(87)90049-5

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