Optically assisted chemical surface microstructuring of LiNbO/sub 3/
| Autor(en): | Mailis, S. Ross, G.W. Reekie, L. Abernethy, J.A. Barry, I.E. Eason, R.W. Nee, I. Müller, Markus Buse, K. |
Stichwörter: | Etching (microfabrication); Materials science; Excimer laser; Grating; Lithium niobate; Isotropic etching; Laser; Laser ablation; Reactive-ion etching; Optics; Optoelectronics; Nanotechnology; Layer (electronics); Physics | Erscheinungsdatum: | 2002 | DOI: | https://doi.org/10.1109/cleoe.2000.909971 |
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